珠海市VOCS一企一方案办理-华蓝

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对有组织排放口(如有管理设置，珠海市vocs一企一方案办理，检查管理前后)的废气排放状况，在线监视，评价污染物排放及其符合标准的状况。检测/监测物种包括非总烃、---、、二、---等主要vocs物种，vocs一企一方案办理申请，同时同步监测废气管理设施的运行状态(处理效率)，检测或在线监测报告书作为附件。注:活性炭吸附装置应提供活性炭更换频率和处理方式等，燃烧法vocs管理装置应提供燃料、燃烧温度等燃烧条件，定期更换吸附剂、催化剂或吸收液时，应提供详细的购买和更换帐簿，提供购买复印件。

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由于半导体技术对操作室的清洁度要求---，通常使用鼓风机技术中挥发的各种废气，因此半导体行业的废气排出具有排出量大、排出浓度小的特点。这些废气排放主要分为酸性气体、碱性气体、有机废气和有毒气体4种。酸碱废气主要来自扩散、cvd、cmp、蚀刻等工序，这些工序用酸碱清洗液清洗晶片。目前，半导体制造技术中常用的清洗溶剂是和---混合剂。这些工序产生的废气包括--- 、---、磷酸等挥发气，碱性气体为氨。

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